金融界2025年5月1日消息诚信双盈，国家知识产权局信息显示，通威微电子有限公司取得一项名为“碳化硅腐蚀炉快速冷却系统”的专利，授权公告号CN222801747U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种碳化硅腐蚀炉快速冷却系统，属于晶片加工领域，碳化硅腐蚀炉快速冷却系统包括坩埚和冷却装置，坩埚用于盛装腐蚀液并放入碳化硅晶片进行腐蚀。冷却装置包括冷却源和冷却管路，冷却源的出水口与冷却管路的进水口连通，冷却管路的出水口与冷却源的进水口连通，冷却管路设置于坩埚的外壁。本碳化硅腐蚀炉快速冷却系统工作时，冷却源的冷却水可以从冷却管路的进水口进入冷却管路，并沿冷却管路流动至冷却管路的出水口，冷却水在冷却管路流动的过程中，可以与坩埚进行热交换，从而带走坩埚散发的热量，实现坩埚的快速降温，从而实现腐蚀炉的快速冷却。
天眼查资料显示，通威微电子有限公司，成立于2021年，位于成都市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本85000万人民币。通过天眼查大数据分析，通威微电子有限公司参与招投标项目14次，专利信息280条，此外企业还拥有行政许可12个。
来源：金融界
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